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二次离子质谱仪（SIMS）分析方法介绍

2.原理. 样品表面被高能聚焦的一次离子轰击时，一次离子注入被分析样品，把动能传递给固体原子，通过层叠碰撞，引起中性粒子和带正负电荷的二次离子 ...

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