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二次离子质谱技术在半导体材料中的检测原理及案例应用

在高真空条件下，具有一定能量几百至几万EV的初级离子束轰击待分析材料表面，导致材料表面原子、原子团簇或分子的二次发射，即离子溅射。然后，用质谱仪 ...

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