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縱橫半導體檢測TOF-SIMS扮演要角- 電子技術設計

TOF-SIMS藉由帶有能量的入射離子轟擊待測樣品的表面，將目標區域的原子轟出而產生二次離子，二次離子經過加速後被導入飛行時間式的質譜分析系統。這些不同 ...

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