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行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告 - 國立成功大學 ...

摘要. 本研究以原子力顯微鏡微影技術在矽（110）上產生一維氧化線圖樣，並且. 配合非等向性濕蝕刻製作出垂直壁，並分別建立氧化線高度分析理論與無 ...

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