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【蝕刻升級篇】剖析干蝕刻和溼蝕刻的作用、製程及其原理

因此Plasma被用在半導體，LCD行業中Etching的工藝中，多用在矽和矽的化合物（SiNx、SiOx 等）的蝕刻工藝，隨著設備的改進，也可用於金屬鋁的蝕刻。 Plasma ...

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