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乾蝕刻濕蝕刻
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濕蝕刻設備半導體產業GPM 均豪精密
屬於等向性的蝕刻技術可以分為「濕蝕刻Wet Etching」及「乾蝕刻Dry Etching」. 兩類。在濕蝕刻中是使用化學溶液,經由化學反應以達到蝕刻的目的;而乾蝕刻.
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