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制程及其原理行家说- 電漿蝕刻原理

在半導體的製程中，蝕刻被用來將某個材質字晶圓表面所移除， ... 在濕蝕刻中是使用化學溶液，經由化學反應以達到蝕刻的目的，而乾蝕刻通常是種電漿 ...

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