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濕蝕刻: 個案分析與結果－以蝕刻技術為例

在濕蝕刻中是使用化學溶液，經由化學反應以達到蝕刻的目的；而乾蝕刻. 通常是種電漿蝕刻光增強電化學pec濕蝕刻也被證明用於氮化鎵。 PEC蝕刻具有設備 ...

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