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技術原理 · 乾蝕刻又被稱為等離子乾蝕刻，是從另一種材料的表面去除材料的過程。 · Figure 1: 用反應離子刻蝕製造全息圖 · 由於乾蝕刻比濕蝕刻具有等向性蝕刻以創建高深寬比 ...

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