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Chap9 蝕刻(Etching)

乾式蝕刻是以電漿，而非濕式的溶液，來進行薄膜蝕刻的. 一種技術。 ◇乾蝕刻的優點為非等向性蝕刻。 ◇乾蝕刻的非等向性主要是利用粒子 ...

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