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乾蝕刻濕蝕刻
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噴淋式:用蝕刻機二氧化矽的濕式蝕刻氫氟酸(hf)溶液通常稀釋在緩衝液或去 ... 乾蝕刻技術Dry etching technique 楊啟榮博士副教授國立台灣師範大學 ...
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