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干法和湿法蚀刻-等离子蚀刻和湿法蚀刻的优缺点

蚀刻 是从材料表面去除材料的过程。蚀刻的两种主要类型是湿蚀刻和干蚀刻（例如，等离子体蚀刻）。涉及使用液体化学药品或蚀刻剂去除基板 ...

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