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乾蝕刻機台
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半導體製程設備技術 - 第 203 頁 - Google 圖書結果
蝕刻劑主要分為液體和氣體兩種,所以蝕刻設備主要區分為濕蝕刻與乾蝕刻。一般使用氣體做為反應物的設備都可以稱為乾式蝕刻機,為了增加蝕刻的精準度與效率,一般會將蝕刻 ...
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