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新一代智慧機台助力半導體技術邁進新里程碑 - 電子工程專輯

例如，科林研發的最新一代蝕刻產品Sense.i就具備Equipment Intelligence功能，內建感測器比上一代機台多了約400顆(參考圖4)。它能自動進行自我校準，具有 ...

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