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濕蝕刻與乾蝕刻半導體製程技術 - Apfigp

蝕刻技術可以分為『濕蝕刻』 (wet etching) 及『乾蝕刻』 (dry etching) 兩類。 在濕蝕刻中是使用化學溶液，而乾蝕刻通常是一種電漿蝕刻(plasma etching)，濕蝕刻 · PDF ...

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