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TCP 9400SE 多晶矽乾蝕刻機儀器簡介

為保持線上標準poly-gate 製程的穩定，避免不當晶片進行蝕刻造成chamber 嚴重污染，將從. 嚴管制進入本機台之晶片材質及未取得使用資格之操作人員。

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