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乾蝕刻機臺原理Dry - Filnd

ETCH知識100問，依照摩爾定律推論， 蝕刻（Etch）被用來將某種材質自晶圓表面上移除。 蝕刻通. 常是利用腐蝕性物質移除部份薄膜材料，積體電路(integrated circuit)製程 ...

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