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光電廠乾蝕刻機台廢氣含氯衍生物量測技術與改善策略研究

TFT-LCD之光電廠中乾蝕刻機台使用之氯氣及六氟化碳等特氣，於製程蝕刻反應過程後，產生之酸性製程廢氣經由酸排氣風管抽至局部處理設備作一次處理， ...

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