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Lam2300多晶矽與介電質乾蝕刻機技術資料. - ppt download

Overview 設備主要為氧化矽蝕刻與金屬蝕刻設備與光阻去除灰化，設備規格為8吋晶圓，群集式(Cluster)的蝕刻設備系統示意圖。 多晶矽蝕刻腔體介電質蝕刻腔體真空傳輸模組 ...

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