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第二章 感應耦合電漿蝕刻與AlGaN/GaN HEMT

比起目前最成熟的微波元件材料砷化鎵、便宜. 的矽半導體製程、以及近年來在功率元件亦相當熱門的碳化矽(SiC)半導體，氮. 化鎵跟這些材料競爭者有何差別？參見圖2-1 與表2-1 ...

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