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以SF6/O2/Ar 感應偶合電漿蝕刻碳化矽材料 - 中華大學

構，探討氣體混合比例與製程時間對蝕刻產生之表面形貌及表面粗糙 ... 比結構，故目前大多使用乾蝕刻的方式加工碳化矽，但仍有蝕刻選擇 ... 圖3.1 RF 電漿蝕刻機台.

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