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產品資訊- ULVAC - 優貝克科技(|)

電漿耦合乾蝕刻設備_NE系列. 簡介. LED用乾蝕刻量產設備. 特點. 1.可同時處理4吋基板 7片,6吋基板3片的高產量設備。 2.搭配ULVAC專利ISM機制和星狀電極,.

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