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CN205508786U - 一种干蚀刻机台pin的改进结构

本实用新型公开了一种干蚀刻机台PIN的改进结构，涉及半导体工艺设备领域，该干蚀刻机台PIN的改进结构，其特征在于：PIN的下端设有螺纹；还包括一夹套，所述的夹套设有 ...

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