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4、干法蝕刻(dry etch)原理介紹 - 人人焦點

答：氧化矽/氮化矽何謂溼式蝕刻答：利用液相的酸液或溶劑;將不要的薄膜去除何謂電漿Plasma? 【面板製程刻蝕篇】史上最全Dry Etch 分類、工藝基本原理及良率剖析. 干法刻蝕 ...

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