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乾蝕刻機台
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http://improvementplan.blogspot.com/2010/06/etching.html
什麼是蝕刻(Etching)?
主要的蝕刻製程是矽蝕刻、多晶矽蝕刻、介電質蝕刻和金屬蝕刻。 ... 蝕刻技術可以分為『濕蝕刻』(wet etching)及『乾蝕刻』(dry etching)兩類。
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