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CH 4 微機電元件之關鍵製程蝕刻與LIGA. - SlidePlayer

蝕刻 製程的功能蝕刻製程的功能，是將微影製程前所沉積的薄膜，把沒被光阻覆蓋的部份以化學反應或物理作用的方式去除掉，已完成轉移光罩圖案到薄膜上面的目的。

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