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「面板制程刻蝕」史上最全Dry Etch分類、工藝基本原理及良率 ...

Dry Etch 的分類及工藝的基本原理. 蝕刻技術中的術語 ... 基於化學反應機制的理想乾蝕刻過程 ... 除了PE及RIE機台，array制程最常用到的還有ICP模式。

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