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晶圓製造- 電導台積電 - Google Sites

磊晶 微影 氧化 擴散 蝕刻 金屬 連線. 磊晶(Epitoxy) ... 其原理可分為： ... 所謂蝕刻即指經由乾、濕的物理作用或化學反應之過程去除工件上某特定區. 域上之薄膜。

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