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乾蝕刻機台原理
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蝕刻機和光刻機有什麼區別,原理有什麼不一樣 - 壹讀
上圖是一張光刻機的簡易工作原理圖。下面,簡單介紹一下圖中各設備的作用。 測量台、曝光台:承載矽片的工作檯,也就是本次 ...
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