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微製程概論(IC 及TFT/LCD) - 遠東科技大學

Color resist. L. Ink-jet Printing 之基本工作原理 ... 其機台主要為爐管設備，如右 ... 乾式蝕刻法是利用氣體分子或其產生的離子及自由基，對晶圓上的材質進行.

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