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干蚀刻制程暨机台原理简介(好文,值得一看) - 百度文库

干蚀刻 制程暨机台原理简介(好文,值得一看) - 文中較清楚的介紹了RIE和ICP的區別，以及干法刻蝕設備的原理。 讀了這篇文章，本人終于對于對于干法刻蝕設備的原理有了較 ...

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