在前段製程晶片和承載用SiC 晶片貼合後,要將前段製程晶片. 厚度減薄到70 毫米左右,才可進行背穿孔乾蝕刻製程。整個薄化的. 步驟,包含二個程序,研磨(Lapping)和拋光( ...
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