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第二章 感應耦合電漿蝕刻與AlGaN/GaN HEMT

本章我們將介紹氮化鎵之基本材料性質、閘極掘入工作原理與電漿蝕刻基. 本原理。 ... 而我們使用的電感耦合電漿蝕刻系統為日本Samco公司製造，機台型號. 為RIE-101iPH。

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