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什麼是蝕刻(Etching) ？ | PDF - Scribd

這項技術降低了製多晶矽薄膜的光阻上；然後利用蝕刻製程將圖案轉移到作成本， ... [2] 乾蝕刻製程暨機台原理簡介的圖案轉移到下面的薄膜不造成任何關鍵尺寸(Critical

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