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Chap9 蝕刻(Etching)

圖案到薄膜的目的. ◇換句話說，光罩上面的圖案，是藉由. 微影製程而轉到光阻上，然後再利用. 蝕刻，來完成圖案轉移到薄膜上的目的. ◇蝕刻技術. ➢ 乾蝕刻. ➢ 濕蝕刻 ...

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