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「乾蝕刻機台原理」懶人包資訊整理(1)

乾蝕刻機台原理 資訊懶人包(1)，,結構與操作原理.TCP9400(多晶矽乾蝕刻機)為科林研發之蝕刻機，.為一高密度蝕刻系統，主要用於多晶矽(Poly-Silicon)的蝕.刻製程。

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