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乾蝕刻原理
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電漿的基礎原理個人新聞台- 電漿蝕刻原理 - Acah
氣體由小口注入真空室上部,由底部排出進入真空泵。 氣體的種類和多少取決於蝕刻的程序。 比如, 六氟化硫經常用來蝕刻矽。 干蝕刻:利用不易被物理 ...
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