電漿蝕刻原理; 第二章感應耦合電漿蝕刻與AlGaN/ ... 在濕蝕刻中是使用化學溶液,經由化學反應以達到蝕刻的目的;而乾蝕刻通常是種電漿蝕刻Plasma Etching。電漿蝕刻中 ...
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