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電漿的基礎原理個人新聞台- 電漿蝕刻原理 - Uneye

其工作原理就是利用電漿在臨近邊界即積體電路板面處產生的鞘層電場。 ... 干蝕刻：利用不易被物理、化學作用破壞的物質光阻來阻擋不欲去除的部分，利用電漿的離子轟擊 ...

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