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乾蝕刻原理
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電漿的基礎原理個人新聞台- 電漿蝕刻原理 - Ireyuc
2.3 電漿蝕刻原理室溫下氮化鎵化學性質穩定且大部分不溶於般蝕刻液, ... 乾蝕刻的非等向性主要是利用粒子轟擊的物理現象進行, 這種粒子轟擊的現象,不但可以在被蝕刻 ...
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