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電漿製程技術國立中興大學- 電漿蝕刻原理 - T0Y5X

2.3 電漿蝕刻原理室溫下氮化鎵化學性質穩定且大部分不溶於般蝕刻液， ... 乾蝕刻的非等向性主要是利用粒子轟擊的物理現象進行， 這種粒子轟擊的現象，不但可以在被蝕刻 ...

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