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乾蝕刻原理
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乾蝕刻
計畫年乾蝕刻機台(Dry Etching) SF6基線排放量,本減量.蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wet etching)和干蚀刻(dry。 ◇濕式蝕刻則是將晶圓浸入藥水中進行 ...
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