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濺鍍維基百科，自由的百科全書- 電漿蝕刻原理 - Qojut

乾蝕刻 的非等向性主要是利用粒子轟擊的物理現象進行， 這種粒子轟擊的現象，不但可以在被蝕刻的薄膜上進行， 也可以在光阻上發生。 台灣師範大學機電科技 ...

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