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第四章個案分析與結果-以蝕刻技術為例

在濕蝕刻中是使用化學溶液，經由化學反應以達到蝕刻的目的；而乾蝕刻. 通常是一種電漿蝕刻（Plasma Etching）。電漿蝕刻中的蝕刻的作用，可能是電漿. 中離子撞擊晶片表面的 ...

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