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乾蝕刻原理
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電漿蝕刻原理- 反應離子刻蝕維基百科 - Livu
乾蝕刻 的非等向性主要是利用粒子轟擊的物理現象進行, 這種粒子轟擊的現象,不但可以在被蝕刻的薄膜上進行, 也可以在光阻上發生。 電漿表面蝕刻是種用來增加表面micro ...
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