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電漿蝕刻原理- 反應式離子蝕刻機 - Fijo

而乾式蝕刻均是採用電漿來進行蝕刻，所謂電漿，為由1 未解離之氣態分子； 2 陰、陽離子及電子； 干蝕刻：利用不易被物理、化學作用破壞的物質光阻來阻擋不欲去除的部分， ...

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