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電漿蝕刻

感應耦合放電：利用電磁感應原理，在容器外繞上線圈使容器內的氣體成為電 ... 影響乾蝕刻的因素包括：(1)蝕刻系統的型態；(2)乾蝕刻的參數；(3)前製程 ...

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