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電漿蝕刻原理 - marketinglobster.pl

何謂乾式蝕刻答：利用plasma將不要的薄膜去除. 何謂Under-etching(蝕刻不足)?反應離子蝕刻（英文：Reactive-Ion Etching，或簡寫為RIE）是一種半導體生產 ...

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