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感應耦合電漿反應性離子蝕刻於石英玻璃加工的技術與應用

(4) (chemical wet etching) 和乾蝕刻(dry etching) 技術(5) ... 一般而言，玻璃乾式蝕刻原理為結合物理性與. 化學性蝕刻優點，以達到移除固體材料目的，同時.

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