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光電半導體主動元件與被動元件的製程技術

術、黃光微影技術和乾濕蝕刻等技術。值得一提的 ... 也比較不受限制。在製程反應室內部的高溫與高真 ... 放過久，表面會生成氧化物，因此在進行此步驟.

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